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    激光干涉儀根據不同的光學基礎有多種類型的干涉儀產品,但干涉儀因為其原理整體產品有以下優缺點

    優點:

    第一、高精度

    以光學組件來說, 因為組件的微小變化均會嚴重改變原有的光學質量,因此必須要有非常精確的測量儀器, 干涉儀具有精度非常高的優點, 最高可達1/100的波長甚至到1/1000的波長, 波長是指干涉儀中使用光源的波長值.舉例來說:一般干涉儀的波長為632.8( nm ), 632.8的百分之一約為6(nm) , 目前的納米科技是在這個尺度, 甚至有些更好的干涉儀可以到0.6(nm)

    第二、測量方式為非接觸式測量

    另一種測量用的輪廓儀是使用接觸式的測量方式, 即使目前已可以微調接觸的力量, 但對于表面較脆弱的被測量物是否真的完全不會造成損害則仍無法確定.而當用干涉儀測量時, 是把光照射到被測量的物體上, 所以干涉儀上的探針也就是光, 并不會對物體表面照成任何傷害

    第三、速度快

    使用探針來測量時無法一次測量所有的面積, 而可能必需分很多掃瞄線去測量, 相對來說, 干涉儀的測量速度就非常快了, 可能幾秒鐘就測完了, 而不需要等待幾個小時的時間

    缺點:

    使用門檻高

    一個操作員在會使用干涉儀卻不太清楚干涉儀的使用限制、條件及原理的時候, 可能會測量到不是他所要的東西, 而且, 因為干涉儀是用光線測量, 在調整上也會花費多的時間, 可能測量結果只要花幾秒鐘, 但事前的調整卻要花費幾十分鐘甚至數個小時

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