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    激光干涉儀是一種常用的測量儀器,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量,被廣泛用于多個行業中。

    激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

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    影響激光干涉儀測量精度的主要因素:

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    1. 激光頻率穩定性:在激光干涉儀中,將激光波長作為長度基準,激光頻率變化直接影響測量結果。

    2. 大氣折射率。

    3. 死程誤差:在零位時,激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。

    4. 余弦誤差:在測定三坐標測量機的定位誤差時,需仔細調整,使光束與滑座的運動方向平等。

    5. 脈沖當量誤差:激光干涉儀顯示的小一個數所對應的量值稱為脈沖當量。

    6. 細分誤差:在干涉條紋一個周期內,由插細分不均勻引起的誤差。

    7. 阿貝誤差:為避免阿貝誤差,需將角隅棱鏡的頂點調整到所測的直線上,否則由于滑座的角運動誤差引起阿貝誤差。

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