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    球面干涉儀(Spherical Interferometer)是一種用于測量光學鏡面的曲率半徑和表面形狀的儀器。球面干涉儀要使用標準球面鏡頭進行校準,同時配備至少三維調整架,以便對待測的球面進行夾持,并在軸向方向進行微小位移調整。當標準球面和待測樣品的焦距滿足特定關系,并且待測樣品是凹球面或凸球面,其曲率中心與標準球面鏡的焦點對準時,可以使用此配置來檢測樣品的表面形狀和不規則性。

    對于被測樣品為凹球面的情況,干涉儀標準球面鏡頭的口徑并沒有特定限制要求,但標準球面的焦距必須等于或小于樣品被測面的焦距。只有在滿足這個條件時,光束才能完全覆蓋(取樣)測量區域,從而進行全口徑的測量。

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    被測樣品為凹面時的測量原理圖

    對于被測樣品為凸面時,情況要比被測樣品為凹面時復雜得多,選擇主要遵循以下幾個原則:

    被測樣品表面的球面半徑必須小于主表面的曲率半徑。

    被測樣品的孔徑盡量小于所選擇的鏡頭的孔徑,如果被測樣品的孔徑大于所選擇的鏡頭的孔徑,則可能出現非全口徑測量。

    為了節約成本,盡量使選用的鏡頭的孔徑與被測樣品的孔徑接近。

    盡量保證被測件的被測百分比>50%。

    這些原則有助于在被測樣品為凸面的情況下,選擇合適的光學鏡頭和配置,以實現準確且全口徑的測量。

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    被測樣品為凸面時的測量原理圖

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